扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。SEM一般都与EDS组合,利用EDS进行元素成分定性、定量分析;可应用于材料高分辨成像、电子产品如PCB板/FPC、半导体,光电材料、通讯行业材料形貌/腐蚀/微污染分析,微区元素打点分析/特定元素沿深度方向的线扫描,元素的面分布。
SEM/EDS应用范围
扫描电子显微镜在金属材料领域的应用
(1)金属材料断裂失效分析。对断口微观形貌观察,根据脆性断裂及韧性断裂机 理,结合材料受力状态分析,找出失效根源。
(2)金属材料的表面缺陷分析。利用扫描电子显微镜对金属表面或界面的薄层进 行组分、结构和能态等分析,揭示金属材料及其制品的表面形貌、成分、结 构或状态。
(3)金属材料的微区化学成分分析。分析表面形貌及微区成分,为失效机理推断 提供定性定量依据。
扫描电子显微镜在非金属材料领域的应用
(1) 材料的表面形貌观察
(2) 涂镀层表面形貌分析与镀层厚度测量
(3) 材料的微区化学成分分析
(4) 扫描电子显微镜分辨率可达纳米级别,可对纳米材料进行观察
重点分析样品
金属材料、高分子材料、电子元器件、PCBA/PCB 等